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發(fā)布時(shí)間：2019-04-04 點(diǎn)擊量：5905
采用1064納米激光激光刻蝕機(jī)對(duì)FTO、ITO導(dǎo)電膜進(jìn)行線(xiàn)路蝕刻，發(fā)現(xiàn)了FTO、ITO存在蝕刻不斷的現(xiàn)象，出現(xiàn)點(diǎn)狀現(xiàn)象，請(qǐng)問(wèn)如何處理？
管理員回復(fù):通常情況下激光刻蝕FTO或ITO刻不斷有三點(diǎn)愿意需要去做調(diào)整：
1.檢查薄膜或玻璃材料是否平整，如果檢測(cè)平整性高，需要重新校正平臺(tái)、振鏡的精度；
2.檢查激光器的頻率、脈寬設(shè)置，可通過(guò)加大頻率、降低脈寬來(lái)調(diào)整；
3.檢查振鏡掃描速度設(shè)置，是否開(kāi)的過(guò)快，可降低振鏡掃描速度配合激光器的頻率、脈寬設(shè)置問(wèn)題來(lái)做。
另外還可以通過(guò)掃描多次的方式來(lái)檢測(cè)是否同一個(gè)位置可不短呈現(xiàn)點(diǎn)狀，還是其他位置也有這種情況，可以判斷出是否不平整或振鏡有問(wèn)題，還可以設(shè)置出光延遲等等問(wèn)題去解決，如果機(jī)器時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，還要考慮機(jī)器功率衰減的問(wèn)題，可以通過(guò)加大功率來(lái)做測(cè)試。
管理員 Asked question 2019-05-22
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